本标准适用予半导体材料、分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氧。按其使用要求电子级氢分为三级。代号为: 电子Ⅲ级氢代号为;DZH|(2)-Ⅲ; 电子Ⅱ级氢代号为;DZH|(2)-Ⅱ; 电子I级氢代号为;DZH|(2)-I。
SJ 2794-1987由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 1987-05-18,并于 1988-10-01 实施,于 2010-02-25 废止。
SJ 2794-1987 在中国标准分类中归属于: L90 电子技术专用材料,在国际标准分类中归属于: 31-030 电子技术专用材料。
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