SJ 2794-1987
电子级氢已作废

Electronic grade Hydrogen

标准号

SJ 2794-1987

发布日期

1987年05月18日

实施日期

1988年10月01日

废止日期

2010-02-25

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

31-030

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准适用予半导体材料、分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氧。按其使用要求电子级氢分为三级。代号为： 电子Ⅲ级氢代号为；DZH|(2)-Ⅲ； 电子Ⅱ级氢代号为；DZH|(2)-Ⅱ； 电子I级氢代号为；DZH|(2)-I。

SJ 2794-1987 中可能用到的仪器设备