本标准适用子与衬底同型外延层厚度的测量,衬底和外延层室温电阻率应分别小于0.02Ω·cm和大于0.1Ω·cm,可测厚度大于2μm.
SJ 2758-1987由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 1987-02-10,并于 1987-07-01 实施,于 2010-02-25 废止。
SJ 2758-1987 在中国标准分类中归属于: L90 电子技术专用材料,在国际标准分类中归属于: 31-030 电子技术专用材料。
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