SJ 2758-1987
同型外延层厚度的红外干涉测试方法
Method of measurement by infrared interference for thickness of homoepitaxial layers
2010-02
- 标准号
- SJ 2758-1987
- 发布
- 1987年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ 2758-1987
- 本标准适用子与衬底同型外延层厚度的测量，衬底和外延层室温电阻率应分别小于0.02Ω·cm和大于0.1Ω·cm，可测厚度大于2μm.
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