SJ/T 10583-1994
气体质量流量控制器通用技术条件
General Specifications for Gas Mass Flow Controllers
SJT10583-1994, SJ10583-1994
2016-09
SJ/T 10583-1994 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- SJ/T 10583-1994
- 别名
- SJT10583-1994
SJ10583-1994 - 发布单位
- 行业标准-电子
- 替代标准
- SJ/T 10583-2016
- 当前最新
- SJ/T 10583-2016
- 本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼，以及化工、冶金、卫生等部门。
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