SJ/T 10274-1991
掩模对准曝光机测试方法
Test methods of mask alignment and exposure system
SJT10274-1991, SJ10274-1991
- 标准号
- SJ/T 10274-1991
- 别名
- SJT10274-1991
SJ10274-1991 - 发布
- 1991年
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 10274-1991
- 本标准规定了测试掩模对准曝光机的一般要求和方法。 本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。
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