T/CASAS 003-2018
p沟道IGBT器件用4H碳化硅外延晶片

4H-SiC Epitaxial Wafers for p-IGBT Devices


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T/CASAS 003-2018

标准号
T/CASAS 003-2018
发布
2018年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CASAS 003-2018
 
 
SiC半导体材料以其独特的优异性能,特别适合制作高压、超高压功率器件。10kV级以上高压/超高压SiC功率器件多为垂直结构的双极型器件,如SiC PiN二极管、IGBT及GTO晶闸管等。 从结构上看,n沟道IGBT与n沟道MOSFET器件结构类似,所不同的是需要将n沟道MOSFET材料结构中的n+型衬底替换成p+型衬底。由于市面上缺乏电阻可接受的...

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