ISO 14644-2:2015 Plus Redline由SCC 发布于 2015-02-01。
ISO 14644-2:2015 Plus Redline 洁净室和相关受控环境 第2部分:通过颗粒浓度进行监测 以提供与空气洁净度相关的洁净室性能证据(包括红线版本)的最新版本是哪一版?
最新版本是 ISO 14644-2:2015 。
ISO 14644-2:2015 规定了洁净室或洁净区性能监测计划的最低要求,该计划与通过颗粒浓度确定的空气洁净度有关,基于测量或影响空气中颗粒浓度的参数。ISO 14644-2:2015 未涉及振动或工程系统一般维护等方面的状态监测。它不提供对指定下限颗粒尺寸范围(0.1 µm 至 5 µm)之外的颗粒群的监测。超细颗粒(小于 0.1µm 的颗粒)的浓度将在单独的标准中处理。
文件名 题目 状态 简介 ISO14644-1 通过颗粒物浓度对空气洁净度进行分类 2015 涵盖洁净室及其相关受控环境中的空气洁净度分类 ISO14644-2 监测通过颗粒浓度提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据 2015 指定监控和定期测试洁净室或洁净区的要求,以证明其继续符合ISO14644-1 ISO14644-3...
为此,按照惯例要对洁净室进行“工程验收”。工程验收一般分两个阶段进行,竣工验收和综合性能评价。此外,对于一个正常使用中的洁净室,为确保其始终处于设计所要求的“受控状态”,就必须进行定期或连续的监测,以考核洁净室的相关技术参数,判定其是否符合规定的状态。与其相关的一整套运行管理体系,则是保障受控环境持续正常运营的“软件”。...
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