ISO 14644-2:2015 Plus Redline
洁净室和相关受控环境 第2部分：通过颗粒浓度进行监测 以提供与空气洁净度相关的洁净室性能证据（包括红线版本）

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (includes Redline Version)

标准号

ISO 14644-2:2015 Plus Redline

发布

2015年

发布单位

SCC

当前最新

ISO 14644-2:2015

 

 

适用范围

ISO 14644-2:2015 规定了洁净室或洁净区性能监测计划的最低要求，该计划与通过颗粒浓度确定的空气洁净度有关，基于测量或影响空气中颗粒浓度的参数。ISO 14644-2:2015 未涉及振动或工程系统一般维护等方面的状态监测。它不提供对指定下限颗粒尺寸范围（0.1 µm 至 5 µm）之外的颗粒群的监测。超细颗粒（小于 0.1µm 的颗粒）的浓度将在单独的标准中处理。

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