GB/T 41805-2022
光学元件表面疵病定量检测方法 显微散射暗场成像法

Methodology for the quantitative inspection of the defect on optics surface—Microscopic scattering dark-field imaging

GBT41805-2022, GB41805-2022


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GB/T 41805-2022

标准号
GB/T 41805-2022
别名
GBT41805-2022
GB41805-2022
发布
2022年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 41805-2022
 
 
引用标准
GB/T 1185-2006
本文件描述了采用显微散射暗场成像法对光学元件表面疵病进行定量检测的检测原理、试验条件、仪器设备、样品、检测步骤、试验数据处理和检测报告。 本文件适用于平板类双面抛光光学元件表面疵病的长度、宽度、挡光面积以及疵病位置检测。

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