ISO 14644-18:2023
洁净室和相关受控环境 - 第 18 部分：消耗品适用性评估
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 18: Assessment of suitability of consumables
- 标准号
- ISO 14644-18:2023
- 发布
- 2023年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 14644-18:2023
- 引用标准
- ISO 14644-1 ISO 14644-10:2022 ISO 14644-8:2022 ISO 14644-9
- 本文件根据产品和工艺要求、清洁度属性和功能性能特性，为评估个人和非个人消耗品在洁净室、洁净区或受控区中的适当使用提供了指导。所涉及的清洁度属性是空气中或表面上的颗粒或化学物质。生物污染（活颗粒、微生物或热原）被视为消耗品的特殊属性。考虑识别相关风险。本文件补充了 ISO 14644-5 中概述的洁净室操作。本文件提供有关以下内容的指导： — 确定消耗品在洁净...