T/ZGM 005-2024
半导体行业超纯水工艺预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证技术要求

Technical specifications of ion exchange resin in cation/anion tower for pretreatment process of ultrapure water in semiconductors industr


T/ZGM 005-2024 发布历史

T/ZGM 005-2024由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2024-05-24,并于 2024-05-31 实施。

T/ZGM 005-2024在国际标准分类中归属于: 07.060 地质学、气象学、水文学。

T/ZGM 005-2024 半导体行业超纯水工艺预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证技术要求的最新版本是哪一版?

最新版本是 T/ZGM 005-2024

T/ZGM 005-2024的历代版本如下:

  • 2024年 T/ZGM 005-2024 半导体行业超纯水工艺预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证技术要求
  • 2023年 T/ZGM 005-2023 质量分级及“领跑者”评价要求 反渗透膜用阻垢剂
  • 2022年 T/ZGM 005-2022 质量分级及“领跑者”评价要求 中空纤维膜N2-H2分离器
  • 2021年 T/ZGM 005-2021 “领跑者”标准评价要求 反渗透膜元件

 

本文件规定了半导体行业超纯水制备用的预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证的技术要求、试验方法。

标准号
T/ZGM 005-2024
发布
2024年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/ZGM 005-2024
 
 

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