T/ZGM 005-2024
半导体行业超纯水工艺预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证技术要求

Technical specifications of ion exchange resin in cation/anion tower for pretreatment process of ultrapure water in semiconductors industr


标准号
T/ZGM 005-2024
发布
2024年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/ZGM 005-2024
 
 
适用范围
本文件规定了半导体行业超纯水制备用的预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证的技术要求、试验方法。

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