GB/T 26069-2022
硅单晶退火片
Annealed monocrystalline silicon wafers
GBT26069-2022, GB26069-2022
说明：
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- 标准号
- GB/T 26069-2022
- 别名
- GBT26069-2022
GB26069-2022 - 发布
- 2022年
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 26069-2022
- 引用标准
- GB/T 12962 GB/T 12965 GB/T 14264 GB/T 1550 GB/T 19921 GB/T 2828 GB/T 4058 GB/T 6616 GB/T 6624
- 被代替标准
- GB/T 26069-2010
- 适用范围
- 本文件规定了硅单晶退火片(以下简称退火片)的分类、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存、随行文件及订货单内容。 本文件适用于通过退火工艺在硅单晶抛光片表面形成一定宽度洁净区的硅片,产品用于技术代180nm~22nm 的集成电路。