ISO/TS 15338:2020
表面化学分析 - 辉光放电质谱 - 操作程序
Surface chemical analysis — Glow discharge mass spectrometry — Operating procedures
ISO/TS 15338:2020 中，可能用到以下仪器设备
ISO/TS 15338:2020相似标准
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分为火花源质谱仪、离子探针质谱仪、激光探针质谱仪、辉光放电质谱仪、电感耦合等离子体质谱仪。火花源质谱仪不仅可以进行固体样品的整体分析，而且可以进行表面和逐层分析甚至液体分析;激光探针质谱仪可进行表面和纵深分析;辉光放电质谱仪分辨率高，可进行高灵敏度，高精度分析，适用范围包括元素周期表中绝大多数元素，分析速度快，便于进行固体分析;电感耦合等离子体质谱，谱线简单易认，灵敏度与测量精度很高。...
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GDMS 是辉光放电质谱法（glow discharge mass spectrometry）的简称。是利用辉光放电源作为离子源与质谱仪器联接进行质谱测定的一种分析方法。GDMS在多个学科领域均获得重要应用。在材料科学领域， GDMS成为反应性和非反应性等离子体沉积过程的控制和表征的工具。GDMS已成为无机固体材料，尤其是高纯材料杂质成分分析的强有力方法。上图为一个简单的辉光放电装置。...
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