T/JSSIA 0001-2024
光敏介质薄膜与互连金属界面结合力的评价方法
Evaluation method for interfacial adhesion between photosensitive polyimide thin films and interconnecting metals
- 标准号
- T/JSSIA 0001-2024
- 发布
- 2024年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/JSSIA 0001-2024
- 适用范围
- 本文件规定了晶圆/板级扇出型封装、晶圆级封装中光敏介质薄膜与互连金属界面结合力的试验方法，包括试验样件、试验设备、界面测试方法、测试结果分析方法、典型失效模式等。