ISO/DIS 14644-17:2024
洁净室和相关受控环境第17部分：颗粒沉积率应用

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 17: Particle deposition rate applications

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标准号: ISO/DIS 14644-17:2024
发布: 2024年
发布单位: SCC
当前最新: ISO/DIS 14644-17:2024

ISO 14644 标准的这一部分为洁净室中一个或多个易损表面上的颗粒沉积率 (PDR) 测量结果的解释和应用提供指导，作为污染控制计划的一部分。它提供了一些关于如何影响 PDR 并降低易损表面上颗粒污染风险的指导。该标准提供了有关洁净室用户如何使用 PDR 测量来确定可为易损表面上的大粒子设置的限制的信息。它还提供了一种风险评估方法，通过该方法可以确定洁净...

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