ISO/DIS 14644-17:2024
洁净室和相关受控环境 第17部分:颗粒沉积率应用

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 17: Particle deposition rate applications


 

 

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标准号
ISO/DIS 14644-17:2024
发布
2024年
发布单位
SCC
当前最新
ISO/DIS 14644-17:2024
 
 
适用范围
ISO 14644 标准的这一部分为洁净室中一个或多个易损表面上的颗粒沉积率 (PDR) 测量结果的解释和应用提供指导,作为污染控制计划的一部分。它提供了一些关于如何影响 PDR 并降低易损表面上颗粒污染风险的指导。该标准提供了有关洁净室用户如何使用 PDR 测量来确定可为易损表面上的大粒子设置的限制的信息。它还提供了一种风险评估方法,通过该方法可以确定洁净室中颗粒沉积到易损表面上的可接受的风险,并且当无法实现这一点时,可以使用方法来降低 PDR。条目说明:PDR 的替代方法是粒子遮蔽率,它决定了粒子在表面区域上的覆盖率随时间的推移而增加的比率。 POR 的使用方式与 PDR 类似,可以计算指定表面所需的 POR,并降低沉积颗粒的风险。该标准不:提供根据 PDR 或 POR 对洁净室进行分类的方法,直接考虑微生物携带颗粒(MCP)的沉积,尽管 MCP 可以被视为颗粒,考虑接触表面沉积,例如,当人员接触产品时污染物就会转移。

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