T/ZZB 2283-2021
半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉
Ultra-high purity graphite powder for semiconductor silicon carbide crystal
T/ZZB 2283-2021 发布历史
本文件规定了半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉的术语和定义、材料规格说明、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、质量承诺。 本文件适用于纯度达到5 N（99.999 wt%）以上的半导体级碳化硅单晶用石墨粉。
T/ZZB 2283-2021由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2021-08-26，并于 2021-09-03 实施。
T/ZZB 2283-2021在国际标准分类中归属于: 29.050 导体材料。
T/ZZB 2283-2021的历代版本如下：
- 2021年08月26日 T/ZZB 2283-2021 半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉
T/ZZB 2283-2021相似标准
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