T/ZZB 2283-2021
半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉
Ultra-high purity graphite powder for semiconductor silicon carbide crystal
- 标准号
- T/ZZB 2283-2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/ZZB 2283-2021
- 适用范围
- 本文件规定了半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉的术语和定义、材料规格说明、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、质量承诺。 本文件适用于纯度达到5 N（99.999 wt%）以上的半导体级碳化硅单晶用石墨粉。
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