ISO 20146:2019
真空技术.真空计.电容隔膜计的规范 校准和测量不确定度
Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges
- 标准号
- ISO 20146:2019
- 发布
- 2019年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 20146:2019
- 引用标准
- ISO 27893 ISO 3529-1 ISO 3529-3 ISO 3567 ISO/IEC Guide 98-3 ISO/IEC Guide 99
- 本文件定义了与电容隔膜真空计 (CDG) 相关的术语，指定了必须为 CDG 提供的参数，详细说明了其校准程序，并描述了操作这些真空计时必须考虑的测量不确定度。 在校准 CDG 并将其用作参考标准时，本文件对 ISO 3567 和 ISO 27893 进行了补充。