ISO 20146:2019
真空技术.真空计.电容隔膜计的规范 校准和测量不确定度

Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges


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ISO 20146:2019

标准号
ISO 20146:2019
发布
2019年
发布单位
国际标准化组织
当前最新
ISO 20146:2019
 
 
引用标准
ISO 27893 ISO 3529-1 ISO 3529-3 ISO 3567 ISO/IEC Guide 98-3 ISO/IEC Guide 99
本文件定义了与电容隔膜真空计 (CDG) 相关的术语,指定了必须为 CDG 提供的参数,详细说明了其校准程序,并描述了操作这些真空计时必须考虑的测量不确定度。 在校准 CDG 并将其用作参考标准时,本文件对 ISO 3567 和 ISO 27893 进行了补充。

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