T/CPIA 0065-2024
异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备

Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) equipment for heterojunction cells

T/CPIA 0065-2024 发布历史

T/CPIA 0065-2024由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2024-03-10，并于 2024-03-15 实施。

T/CPIA 0065-2024在国际标准分类中归属于: 27.160 太阳能工程。

T/CPIA 0065-2024 异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备的最新版本是哪一版？

最新版本是 T/CPIA 0065-2024 。

T/CPIA 0065-2024的历代版本如下：

• 2024年 T/CPIA 0065-2024 异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备

本文件规定了本征薄膜异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备的术语和定义、工作环境、设备要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。 本文件适用于本征薄膜异质结电池用PECVD设备。产品主要用于沉积多种薄膜材料，例如非晶硅、微晶硅、二氧化硅、氮化硅薄膜等本征薄膜材料等。

标准号

T/CPIA 0065-2024

发布

2024年

发布单位

中国团体标准

当前最新

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