GB/T 6616-2023
半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法

Non-contact eddy current method for testing semiconductor wafer resistivity and semiconductor film sheet resistance

GBT6616-2023, GB6616-2023


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标准号
GB/T 6616-2023
别名
GBT6616-2023
GB6616-2023
发布
2023年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 6616-2023
 
 
被代替标准
GB/T 6616-2009

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