KS I ISO 14644-2-2017
洁净室和相关控制环境 - 用于测试和监控的规范 以证明持续符合Iso 14644-1

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 2:Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration


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标准号
KS I ISO 14644-2-2017
发布
2017年
发布单位
KR-KS
替代标准
KS I ISO 14644-2-2017(2022)
当前最新
KS I ISO 14644-2-2017(2022)
 
 

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