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•EN ISO 14644-2:洁净室和相关的受控环境第2部分:测试和监测规范,以证明其继续符合ISO 14644-1。国际标准化组织ISO,日内瓦和欧洲标准化委员会(2000年9月)。...
文件名 题目 状态 简介 ISO14644-1 通过颗粒物浓度对空气洁净度进行分类 2015 涵盖洁净室及其相关受控环境中的空气洁净度分类 ISO14644-2 监测通过颗粒浓度提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据 2015 指定监控和定期测试洁净室或洁净区的要求,以证明其继续符合ISO14644-1 ISO14644-3...
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