传统的制备TEM样品的方法是机械切片研磨,用这种方法只能分析大面积样品。采用聚焦离子束则可以对样品的某一局部切片进行观察。与切割横截面的方法一样,制作TEM样品是利用聚焦离子束从前后两个方向加工,最后在中间留下一个薄的区域作为TEM观察的样品。下图所示为TEM制样的工艺过程。...
,以离子束的能量分解有机金属蒸汽或气相绝缘材料,在局部区域作导体或非导体的沉积,可供金属和氧化层的沉积高分辨扫描电镜,SEM的高分辨图像保证高精密的终点探测,利用即时的FIB图像实现Section-View的功能可以显示截面的轮廓图制备透射电镜(TEM)样品配备EDX可进行样品元素组分半定量测量应用案例:案例一,精细切割及材料蒸镀:图1为利用聚焦离子束系统在素玻璃上分别进行镓离子精细切割及钨离子镀膜的图形...
材料科学固体样品制备涉及用离子束轰击材料,离子束的能量范围从几百电子伏特到30 千伏电子伏特。通过分析SRIM(Stopping and Range of Ions in Matter)产生的模拟数据, 包括离子注入投射深度,范围,溅射产率,原子位移损和空位损伤密度,报告明确的指明选择哪种类型的离子与哪一个聚焦离子束应用领域相匹配。...
关键词离子固体相互作用(Ion Solid Interaction),聚焦离子束(FIB),等离子体离子束(PFIB),FIB 制备TEM样品 ( FIB TEM specimen),低能聚焦离子束 (Low Energy FIB) ,氩离子束 (Argon Ion Beam)。参与福利在当天会议直播过程中,报告人结束演讲后,会留有时间与观众互动交流。...
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