传统的制备TEM样品的方法是机械切片研磨,用这种方法只能分析大面积样品。采用聚焦离子束则可以对样品的某一局部切片进行观察。与切割横截面的方法一样,制作TEM样品是利用聚焦离子束从前后两个方向加工,最后在中间留下一个薄的区域作为TEM观察的样品。下图所示为TEM制样的工艺过程。...
,以离子束的能量分解有机金属蒸汽或气相绝缘材料,在局部区域作导体或非导体的沉积,可供金属和氧化层的沉积高分辨扫描电镜,SEM的高分辨图像保证高精密的终点探测,利用即时的FIB图像实现Section-View的功能可以显示截面的轮廓图制备透射电镜(TEM)样品配备EDX可进行样品元素组分半定量测量应用案例:案例一,精细切割及材料蒸镀:图1为利用聚焦离子束系统在素玻璃上分别进行镓离子精细切割及钨离子镀膜的图形...
在FIB 加工系统中,来自液态金属离子源的离子束经过加速、质量分析、整形等处理后, 聚焦在样品表面。离子束斑直径目前已可达到几个纳米,其加工方式为将高能离子束聚焦在样品表面逐点轰击,可通过计算机控制束扫描器和消隐组件来加工特定的图案。东南大学机械工程学院金乾进等研究人员以实验为基础,从具体的实验结果分析了各加工参数对刻蚀结果的影响,主要讨论微纳图形加工过程中,FIB 系统工作参数对刻蚀结构的影响。...
在聚焦离子束加工系统中,来自离子源的离子束经过加速、质量分析、整形等处理后,聚焦在样品表面,离子束斑直径目前已可达到几个纳米,其加工方式为将高能离子束聚焦在样品表面逐点轰击,可通过计算机控制束扫描器和消隐组件来加工特定的图案。1聚焦离子束系统的结构及工作原理聚焦离子束系统是用聚焦离子束代替扫描电镜(SEM)及透射电镜(TEM)中所用的质量很小的电子作为仪器光源的显微分析加工系统。...
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