本文件规定了无纺布/聚氨酯复合抛光垫(以下简称抛光垫)的分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本文件适用于抛光垫,用于硅晶片、LCD基片及玻璃面板,蓝宝石衬底等材料的抛光,还可应用于ITO导电玻璃、玻璃基片、光掩模及LCD面罩、铍、熔融石英、磷化铟、铌酸锂、钽酸锂、不锈钢、钨、膨胀玻璃的抛光。
T/SHXCL 0004-2021由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2021-04-12,并于 2021-04-23 实施。
T/SHXCL 0004-2021在国际标准分类中归属于: 59.100.99 其他复合增强材料。
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