二CMP抛光垫的种类抛光垫种类可按材质结构主要有:聚合物抛光垫、无纺布抛光垫、带绒毛结构的无纺布抛光垫、复合型抛光垫。聚合物抛光垫:聚合物抛光垫的主要成分是发泡体固化聚氨酯,聚氨酯抛光垫具有抗撕裂强度高、耐磨性强、耐酸碱腐蚀性优异的特点,是最常用的抛光垫材料之一。无纺布抛光垫:无纺布又称不织布,由定向的或随机的纤维构成,微观组织对抛光垫性能产生重要影响。...
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