DB53/T 619-2014
气相色谱法测定四氯化硅及其次组分含量
Determination of Silicon Tetrachloride and Its Subcomponents by Gas Chromatography
- 标准号
- DB53/T 619-2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 云南省地方标准
- 当前最新
- DB53/T 619-2014
- 本标准规定了气相色谱法测定四氯化硅及其次组分含量的方法提要、试剂与材料、仪器及装置、分析步骤、结果计算、精密度、试验报告。 本标准适用于氯化氢（HCl）、二氯二氢硅（SiH2Cl2）、三氯氢硅（SiHCl3）、四氯化硅（SiCl4 ）含量的测定.
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