DB53/T 619-2014
气相色谱法测定四氯化硅及其次组分含量


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标准号
DB53/T 619-2014
发布
2014年
发布单位
云南省地方标准
当前最新
DB53/T 619-2014
 
 
适用范围
本标准规定了气相色谱法测定四氯化硅及其次组分含量的方法提要、试剂与材料、仪器及装置、分析步骤、结果计算、精密度、试验报告。 本标准适用于氯化氢(HCl)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)、三氯氢硅(SiHCl3)、四氯化硅(SiCl4 )含量的测定.

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