ISO 22278:2020由国际标准化组织 IX-ISO 发布于 2020-08-24。
ISO 22278:2020在国际标准分类中归属于: 81.060.30 高级陶瓷。
本文件规定了采用平行X射线束的XRD方法测量单晶薄膜(晶圆)结晶质量的测试方法。 本文件适用于所有作为体或外延层结构的单晶薄膜(晶圆)。
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