ISO 22278:2020
精细陶瓷（高级陶瓷 高级工业陶瓷）.用平行X射线束X射线衍射法测定单晶薄膜（晶片）结晶质量的试验方法
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam
- 标准号
- ISO 22278:2020
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 22278:2020
- 适用范围
- 本文件规定了采用平行X射线束的XRD方法测量单晶薄膜（晶圆）结晶质量的测试方法。 本文件适用于所有作为体或外延层结构的单晶薄膜（晶圆）。