ISO 14644-3 – C 精益室测试是什么? ISO 14644 讨论了洁净室和相关的受控环境。
ISO 14644-3 是洁净室和相关受控环境多系列的第三部分,提供支持洁净室和洁净区运行以满足空气洁净度分类、其他洁净度属性和相关受控条件的测试方法。
性能测试针对两种类型的洁净室和洁净区:具有单向气流的洁净室和洁净区和具有非单向气流的洁净室和洁净区,在三种可能的占用状态、竣工状态、静止状态和运行状态下进行。
注意:本文件并未显示所有洁净室参数测试程序。
BS EN ISO 14644-1 中提供了按颗粒浓度和大颗粒进行空气清洁度等级测试的程序和设备,BS EN ISO 14644-12 中提供了按纳米级颗粒浓度监测空气清洁度的规范。
用于表征特定产品或工艺的洁净室和洁净区中所关注的其他参数的程序和设备在其他文件中的其他地方进行了讨论,例如,可行材料的控制和测量程序(BS EN ISO 14698 系列)、测试洁净室功能 (BS EN ISO 14644-4) 和分离设备测试 (BS EN ISO 14644-7)。
此外,其他标准也可被认为适用。
其他清洁度属性级别可以使用 BS EN ISO 14644-8(化学品的空气清洁度级别)、BS EN ISO 14644-9(颗粒浓度的表面清洁度级别)和 BS EN...