半导体器件生产过程中涉及的化学品种类繁多、测试元素种类众多且检测精度要求ppt量级,都对设备性能及操作人员的污染控制技术提出苛刻要求。另外,随着半导体器件的尺寸不断缩小、芯片中元件的密度不断增加,生产过程中的污染控制也愈发严格。...
确定TOC擦拭百分比分布目前用于特定产品清洁过程的清洁验证,使用对设备性能确认(PQ)或持续确认(定期监测)和产品转换所进行的整个清洁过程的TOC擦拭和淋洗数据。以上示例数据用直方图形式来确定正态分布。如上表所示,数据显示了同正态分布的明显偏离。大部分数据非常接近方法的检测限,因此将数据转换为近似正态分布是不合理的。...
伪造销售记录,在4批次问题产品数量统计中,只统计柜台待销和库存产品数量,不统计已销售产品数量,通过隐瞒部分不合格产品数量来逃避处罚;伪造不合格粉记录,将已销售的产量记录为生产过程中的不合格粉,假借不合格粉来充抵已销售的产量;伪造签名,相关生产记录表的签名栏中发现两名员工签名,但该公司只有其中一名员工;生产过程记录项目不全,为应对食品安全审计,临时补写不真实的生产记录。 ...
半导体器件生产过程中涉及的化学品种类繁多、测试元素种类众多且检测精度要求ppt量级,都对设备性能及操作人员的污染控制技术提出苛刻要求。另外,随着半导体器件的尺寸不断缩小、芯片中元件的密度不断增加,生产过程中的污染控制也愈发严格。...
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