BS EN ISO 23131:2022
椭偏仪 原则

Ellipsometry. Principles


说明：

  • 此图仅显示与当前标准最近的5级引用；
  • 鼠标放置在图上可以看到标题编号；
  • 此图可以通过鼠标滚轮放大或者缩小；
  • 表示标准的节点，可以拖动；
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  • 箭头终点方向的标准引用了起点方向的标准。
标准号
BS EN ISO 23131:2022
发布
2023年
发布单位
英国标准学会
替代标准
BS EN ISO 23131:2022(2023)
当前最新
BS EN ISO 23131:2022(2023)
 
 
1 范围 本文件规定了通过认可的测试实验室确定 UV-VIS-NIR 光谱范围内的光学和介电常数以及在线生产控制、质量保证和材料开发领域的层厚度的方法。 它适用于独立的测量系统。 结果不确定度的表示符合 ISO/IEC 指南 98-3。

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