BS EN ISO 23131:2022
椭偏仪原则

Ellipsometry. Principles

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标准号: BS EN ISO 23131:2022
发布: 2023年
发布单位: 英国标准学会
替代标准: BS EN ISO 23131:2022(2023)
当前最新: BS EN ISO 23131:2022(2023)

1 范围本文件规定了通过认可的测试实验室确定 UV-VIS-NIR 光谱范围内的光学和介电常数以及在线生产控制、质量保证和材料开发领域的层厚度的方法。它适用于独立的测量系统。结果不确定度的表示符合 ISO/IEC 指南 98-3。

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