执行器：MEMS 执行器也有部分较成熟的应用，如流量控制（喷墨头），射频器件里的 BAW（体 声波）滤波器、BAW 双工器等，但未来大量的应用场景不止于此，例如 MEMS 振荡器/谐振器、 MEMS 扬声器、MEMS 摄像头、MEMS 反射镜（用于微投领域）等。 ...
2005年，安捷伦科技推出基于MEMS体声波（BAW）谐振器的频率器件（滤波器），该技术能够节省四分之三的空间。BAW器件不同于其他MEMS的地方在于BAW没有运动部件，主要通过体积膨胀与收缩实现其功能。（另外一个非位移式MEMS典型例子是依靠材料属性变化的MEMS器件，例如基于相变材料的开关，加入不同电压可以使材料发生相变，分别为低阻和高阻状态，详见后续开关专题）。...
诺思微系统核心技术：薄膜体声波谐振器(FBAR)技术、采用硅衬底的微机电系统(MEMS)制造技术主要产品：FBAR射频滤波器、射频前端MEMS滤波芯片应用方案：无线射频滤波器、双工器和多工器解决方案、BAW射频方案目标市场：无线通讯、手机终端和基站。...
2018年12月，根据框架协议，歌尔股份全资子公司歌尔微电子有限公司以现金方式出资在山东省青岛市成立青岛歌尔智能传感器有限公司。射频MEMS领域2018年5月，着眼于下一代智能手机和物联网设备中高级射频声波集成电路和模块开发的成都频岢微电子有限公司（简称“频岢微电子”）完成天使轮融资，由德迅投资和苏州捷研芯共同投资。频岢微电子主要产品包括射频滤波器、双工器、多工器和功率放大器等，市场达上百亿美元。...
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