半导体器件 微电子机械器件 第7部分:用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
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执行器:MEMS 执行器也有部分较成熟的应用,如流量控制(喷墨头),射频器件里的 BAW(体 声波)滤波器、BAW 双工器等,但未来大量的应用场景不止于此,例如 MEMS 振荡器/谐振器、 MEMS 扬声器、MEMS 摄像头、MEMS 反射镜(用于微投领域)等。 ...
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