DIN 50454-2-1994
半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物半导体单晶错位腐蚀坑密度的测定.第2部分:铟磷化物

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the dislocation etch pits density in monocrystals of III-V-compound semiconductors - Part 2: Indium phosphide


DIN 50454-2-1994 发布历史

DIN 50454-2-1994由德国标准化学会 DE-DIN 发布于 1994-10。

DIN 50454-2-1994 在中国标准分类中归属于: H83 化合物半导体材料,在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。

DIN 50454-2-1994的历代版本如下:

  • 1994年10月 DIN 50454-2-1994 半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物半导体单晶错位腐蚀坑密度的测定.第2部分:铟磷化物

 

 

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标准号
DIN 50454-2-1994
发布日期
1994年10月
实施日期
废止日期
中国标准分类号
H83
国际标准分类号
29.045
发布单位
DE-DIN

DIN 50454-2-1994系列标准





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