DIN 50454-2-1994
半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物半导体单晶错位腐蚀坑密度的测定.第2部分:铟磷化物

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the dislocation etch pits density in monocrystals of III-V-compound semiconductors - Part 2: Indium phosphide

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标准号

DIN 50454-2-1994

发布日期

1994年10月

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045

发布单位

德国标准化学会

DIN 50454-2-1994系列标准