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目前,气体传感器的应用日趋广泛,在物联网等泛在应用的推动下,其技术发展方向开始向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。具有代表性的基于金属氧化物半导体敏感材料(MOS)气体传感器已广泛应用于安全、环境、楼宇控制等领域的气体检测,该类传感器的能耗是制约其大规模布设的核心节点,MEMS技术为解决MOS气体传感器的该类问题提供了强有力的有效途迳和方案。...
四方光电核心技术:光学(红外、紫外、光散射、激光拉曼)、超声波、MEMS金属氧化物半导体 (MOX)、电化学、陶瓷厚膜工艺高温固体电解质等气体传感技术主要产品:智能气体传感器和高端气体分析仪器目标市场:空气品质、环境监测、工业过程、安全监测、健康医疗、智慧计量等领域。矽睿科技核心技术:MEMS工艺制程、传感器设计和ASIC设计、算法和系统应用软件等。...
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