T/CAB 0156-2022
智能家电用金属氧化物MEMS气体传感器

Metal-oxide MEMS gas sensor for smart home appliances

T/CAB 0156-2022 发布历史

本文件所述MEMS气体传感器由微纳结构的半导体气敏材料结合MEMS工艺的加热器集成制造而成，在硅片上实现了气体浓度检测功能以达到家电的智能反馈控制。

T/CAB 0156-2022由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2022-07-05，并于 2022-07-07 实施。

T/CAB 0156-2022在国际标准分类中归属于: 31.200 集成电路、微电子学。

T/CAB 0156-2022的历代版本如下：

• 2022年 T/CAB 0156-2022 智能家电用金属氧化物MEMS气体传感器

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标准号

T/CAB 0156-2022

发布

2022年

发布单位

中国团体标准

 

 

适用范围

本文件所述MEMS气体传感器由微纳结构的半导体气敏材料结合MEMS工艺的加热器集成制造而成，在硅片上实现了气体浓度检测功能以达到家电的智能反馈控制。

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