ISO 14644-10:2022
洁净室和相关受控环境.第10部分:化学污染表面清洁度的评定

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination


ISO 14644-10:2022

标准号
ISO 14644-10:2022
发布
2022年
发布单位
国际标准化组织
当前最新
ISO 14644-10:2022
 
 
本文件建立了适当的测试流程,以确定洁净室表面的清洁度,以确定是否存在化合物或元素(包括分子、离子、原子和颗粒)。 本文件适用于洁净室和相关受控环境中的所有固体表面,例如墙壁、天花板、地板、工作表面、工具、设备和装置。 注 1:出于本文件的目的,仅考虑颗粒的化学特性。 没有考虑颗粒的物理特性,并且本文件没有涵盖污染物和表面之间的相互作用。 注2:本文件不包括污...

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