ISO 14644-10:2022由国际标准化组织 IX-ISO 发布于 2022-05-04。
ISO 14644-10:2022在国际标准分类中归属于: 13.040.35 清洁室(无菌室)及相关受控环境。
ISO 14644-10:2022 洁净室和相关受控环境.第10部分:化学污染表面清洁度的评定的最新版本是哪一版?
最新版本是 ISO 14644-10:2022 。
本文件建立了适当的测试流程,以确定洁净室表面的清洁度,以确定是否存在化合物或元素(包括分子、离子、原子和颗粒)。 本文件适用于洁净室和相关受控环境中的所有固体表面,例如墙壁、天花板、地板、工作表面、工具、设备和装置。 注 1:出于本文件的目的,仅考虑颗粒的化学特性。 没有考虑颗粒的物理特性,并且本文件没有涵盖污染物和表面之间的相互作用。 注2:本文件不包括污染产生过程或任何与时间相关的影响(例如沉积、沉降、老化)或与过程相关的活动(例如运输和装卸)。 它也不包括有关统计质量控制技术的指导,以确保合规性。
指定分离设备的设计、构造、安装、测试和批准的最低要求 ISO14644-8 按化学物浓度(ACC)分类的空气洁净度 2013 涵盖洁净室及其相关受控环境中气态分子污染物(AMC)的分类 ISO14644-9 通过颗粒物浓度对表面清洁度进行分类 2012 通过洁净室及其相关受控环境中的颗粒物浓度确定固体表面洁净度等级的分类 ISO14644-10...
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