T/SZBSIA 006-2022
IC类半导体固晶机技术规范

Semiconductor di e bonder technical?norm


T/SZBSIA 006-2022 中,可能用到以下仪器

 

牛津仪器Zyla 4.2 PLUS sCMOSCMOS相机 半导体制造

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牛津仪器科技(上海)有限公司

 

半导体晶圆微操作、检验设备

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电动摆台Goniometer35-theta

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IDS uEye LE USB 3.1 AF 自动对焦液态镜头板级相机

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Point Grey Grasshopper®3高性能USB 3.0相机

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Allied Vision Alvium USB 3.1 相机

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Pixelink® USB 3.0 自动对焦液态镜头板级相机

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Nikon 干涉测量镜头

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Point Grey Chameleon®3 USB 3.0 相机

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爱特蒙特光学USB 3.1 CMOS机器视觉相机

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Point Grey Chameleon® USB 2.0 相机

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OWIS微型电动XY位移平台 KTM 65

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T/SZBSIA 006-2022

标准号
T/SZBSIA 006-2022
发布
2022年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/SZBSIA 006-2022
 
 
本文件规定了半导体固晶机的术语和定义、结构与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、使用说明书与标志、包装、运输和储存。  本文件适用于IC类半导体固晶机。

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T/SZBSIA 006-2022 中可能用到的仪器设备





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