T/CEMIA 024-2021
半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范
Quartz crucible manufacturing practices for semiconductor monosilicon growth
T/CEMIA 024-2021 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- T/CEMIA 024-2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/CEMIA 024-2021
- 本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。 本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚生产过程。
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