报告分为六个部分:椭偏仪原理介绍;成像椭偏仪介绍;成像椭偏仪的优缺点;成像椭偏仪与传统椭偏仪的比较;Accurion成像椭偏仪的硬件及特点;成像椭偏仪的应用范围和应用案例。 除此之外,左青方还详细介绍了欧库睿因产品、欧库睿因被收购前在中国的销售业绩、客户分布范围以及售后问题等内容。报告人介绍:左方青,Park中国销售代表,成像椭偏仪应用工程师,拥有十年以上成像椭偏仪销售和售后经验。...
椭偏测量的基本原理是测量光束经材料反射、透射或散射前后偏振态的改变,由于偏振态的改变与材料的光学性质、厚度、结构直接相关,因此,通过椭偏测量可以获得材料的光学常数。应用最广的是反射式椭偏仪,即测量反射光相对于入射光偏振态的变化,其中依据测量方式又可分为消光式椭偏仪与光度式椭偏仪,消光式椭偏仪以寻找输出最小光强的位置为测量手段,光度式椭偏仪则以测定分析光强的输出变化为测量手段。...
单色仪用来选择单一的、窄带的波长,通过移动单色仪内的光学设备(一般由计算机控制),单色仪可以选择感兴趣的波长。这种方式波长比较准确,但速度比较慢,因为每次只能测试一个波长。如果单色仪放置在样品前,有一个优点是明显减少了到达样品的入射光的量(避免了感光材料的改变)。另外一种测量的方式是同时测量整个光谱范围,将复合光束的波长展开,利用探测器阵列来检测各个不同的波长信号。...
通常椭偏仪测量作为波长和入射角函数的ρ的值(经常以ψ和∆或相关的量表示)。一次测量完成以后,所得的数据用来分析得到光学常数,膜层厚度,以及其他感兴趣的参数值。如图2所示,分析的过程包含很多步骤。...
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