DIN EN ISO 23131:2023-01
椭偏仪 原理
Ellipsometry - Principles (ISO 23131:2021); German version EN ISO 23131:2022
DIN EN ISO 23131:2023-01 发布历史
DIN EN ISO 23131:2023-01由德国标准化学会 DE-DIN 发布于 2023-01。
DIN EN ISO 23131:2023-01的历代版本如下：
- 2023年 DIN EN ISO 23131:2023-01 椭偏仪 原理
- 1970年 DIN EN ISO 23131 E:2022-08 DIN EN ISO 23131 E:2022-08
DIN EN ISO 23131:2023-01相似标准
推荐
Park公司顺利举行成像椭偏仪研讨会
报告分为六个部分：椭偏仪原理介绍；成像椭偏仪介绍；成像椭偏仪的优缺点；成像椭偏仪与传统椭偏仪的比较；Accurion成像椭偏仪的硬件及特点；成像椭偏仪的应用范围和应用案例。 除此之外，左青方还详细介绍了欧库睿因产品、欧库睿因被收购前在中国的销售业绩、客户分布范围以及售后问题等内容。报告人介绍：左方青，Park中国销售代表，成像椭偏仪应用工程师，拥有十年以上成像椭偏仪销售和售后经验。...
观点|反射式RAP型椭圆偏振光谱仪及其应用
椭偏测量的基本原理是测量光束经材料反射、透射或散射前后偏振态的改变，由于偏振态的改变与材料的光学性质、厚度、结构直接相关，因此，通过椭偏测量可以获得材料的光学常数。应用最广的是反射式椭偏仪，即测量反射光相对于入射光偏振态的变化，其中依据测量方式又可分为消光式椭偏仪与光度式椭偏仪，消光式椭偏仪以寻找输出最小光强的位置为测量手段，光度式椭偏仪则以测定分析光强的输出变化为测量手段。...
简述椭偏仪的测量原理
单色仪用来选择单一的、窄带的波长，通过移动单色仪内的光学设备（一般由计算机控制），单色仪可以选择感兴趣的波长。这种方式波长比较准确，但速度比较慢，因为每次只能测试一个波长。如果单色仪放置在样品前，有一个优点是明显减少了到达样品的入射光的量（避免了感光材料的改变）。另外一种测量的方式是同时测量整个光谱范围，将复合光束的波长展开，利用探测器阵列来检测各个不同的波长信号。...
椭偏仪的工作原理简介
通常椭偏仪测量作为波长和入射角函数的ρ的值（经常以ψ和∆或相关的量表示）。一次测量完成以后，所得的数据用来分析得到光学常数，膜层厚度，以及其他感兴趣的参数值。如图2所示，分析的过程包含很多步骤。...